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TORRI BD 0100–0600 A

多级罗茨真空泵

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灵活

对 load lock 腔体实现最短抽真空时间

高效

能耗低,维护工作量少,正常运行时间长

结构紧凑

尺寸小巧、重量轻盈

技术规格

市场和应用

研发
  • 光子学研究
半导体
  • PVD
  • 检验与计量
  • 离子注入
  • 光刻技术
  • Load lock 和 传输
  • 退火
薄膜镀层
  • 实验室涂层