TORRI

TORRI BD 是市场上小尺寸、低重量的高效干式多级罗茨真空泵之一。因此，该款真空泵是用于抽空 load lock 腔体的理想解决方案。

依托其久经验证的工作原理，它们可以实现低极限压力。其出色的抽真空时间可以进一步缩短总平均循环周期。

完全开放的通信协议 (Modbus RTU) 可以使用标准接口组件轻松适用特定的网络协议。

选配的 LCD 控制器可以轻松监控真空泵的状态。可以显示相关参数，如电机温度、电机电流、冷却水流量和泵体温度。