技术规格
市场和应用
半导体
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LPCVD / 扩散
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剥离 / 灰化
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Si Poly etch
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轻沉积
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PECVD
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光刻技术
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金属和高 K 蚀刻
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钴、WCVD、TiN 和 TDMAT
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ALD
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退火
太阳能
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电池制造