A4 系列

A4 系列配备极为高效节能且带有变速驱动的电机，可灵活调节转速以满足不同工艺要求。该系列还设有怠速模式，确保真空泵在工艺步骤间隙和不需要时以最低转速运行。从而达到显著节约能源的效果。

凭借先进的实时监控功能，能够对泵的运行状态进行监控，可通过配备的带显示屏手持遥控器，获取 A4 系列的振动水平、压力以及冷凝水检测等运行参数。这有助于进行预防性维护并减少停机时间。

A4 系列真空泵在排气端集成热氮气注入装置，提升了运行的安全性与效率，同时确保易燃气体的定向稀释。压力和流量调节器持续监控氮气供应状态，并在参数异常时发出警报。这可以有效降低沉积物和冷凝水形成的风险，防止排气管堵塞可能引发的爆炸事故。

此外，A4 多级罗茨真空泵还具备先进的温控功能。集成式加热系统可将真空泵维持在设定温度，防止出现冷凝现象和非预期化学反应，从而确保加工质量稳定可靠。内置热安全功能会在泵体温度超过 100℃ 时切断电源，避免过热以及可能造成的真空泵损坏。

A4 系列产品提供三种不同耐腐蚀性的型号：

A4H 型真空泵专为半导体和涂层行业中等强度工艺设计，适用于太阳能电池薄膜沉积等应用场景。该型号配备基础防腐保护，具备更强的颗粒耐受性，可防止真空泵敏感组件受损，确保在处理此类工艺时保持强劲稳定的性能。

在导体刻蚀、多晶硅刻蚀等严苛的半导体工艺中，A4X 型号具有耐腐蚀性，提供可靠的干式泵送解决方案。与 A4H 真空泵相比，该型号采用特殊材质保护转子免受腐蚀，从而提供更强的防腐蚀保护。

A4XN 型号专为化学气相沉积（CVD）或原子层沉积（ALD）等强腐蚀性应用设计。采用由 Pfeiffer 普发研发的 XN 镍涂层技术，可保护真空泵所有接触腐蚀性气体的部件。即使在非常严苛的应用中，也能显著延长这些部件的使用寿命。