技术规格
市场和应用
乳制品
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奶酪生产 - 奶酪真空室
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奶酪生产 - 奶酪塔
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黄油生产
显示器
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物理气相沉积（PVD）
半导体
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LPCVD / 扩散
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剥离 / 灰化
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PVD
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Si Poly etch
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轻沉积
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PECVD
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光刻技术
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金属和高 K 蚀刻
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氧化物蚀刻
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Load lock 和 传输
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钴、WCVD、TiN 和 TDMAT
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ALD
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退火
太阳能
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电池制造
薄膜镀层
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实验室涂层