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4.9 涡轮分子泵

4.9.1 设计与工作原理

普发真空于 1958 年由 W. Becker 博士开发涡轮分子泵并获 得专利。 涡轮分子泵属于动量真空泵的范畴。它们的设计类 似于涡轮机的设计。 多级、具有叶盘的涡轮状转子在壳体内 旋转。涡轮机或压缩机的叶片被统称为叶片装置。 转子盘之 间插入具有类似几何形状的叶片定子盘。


轴承

通过两个球轴承安装涡轮分子泵转子轴需要将两个球轴承都 安排在前级真空侧，因为轴承中有润滑剂。这导致较大质量 转子受单边(悬臂)支撑。

混合轴承支撑就转子动力学而言在这方面有优势。混合轴承是指单一泵中使用 两个轴承的概念。在这种情况下， 油润滑球轴承安装在前真空侧上轴的端部， 且高真空侧配备了免维护和无磨损的永磁轴承，其将转子置于径向中心位 置。 润滑前真空侧轴承的油置于油池内。小型安全轴承布置在磁轴承转子内。在正 常工作期间，轴颈在该轴承内自由旋转。如果存在强劲的径向冲击，安全轴承 则稳定转子转动。如果转子失去平衡，轴两端的轴承将比浮动轴承的情况下产 生显著较低的轴承振动力。高真空侧的磁轴承对振动完全不敏感。因此，只有 非常小的振动力被传输到壳体上。而且，这无需悬臂概念中较大的两个轴 承， 其较大尺寸限制了转速。

法兰直径尺寸超过 100 mm 的大型泵另外使用被称为 5 轴磁 轴承的轴承 [24]。 通过距离传感器和电磁体实现的数字电气 控制使转子悬浮。 涡轮转子运动的自由度可连续监控并实时 调整。 转子与壳体之间无机械接触将泵产生的振动保持在低 水平。 转子围绕其自身的惯性轴线自转。由于一侧涂层或腐 蚀(如在等离子刻蚀中)产生的任何不平衡可在较大的限制 内抵消。

除前级真空侧无油外，无磨损和免维护是另一个优势。在停 电的情况下，通过泵的旋转能量为磁轴承供电。这使得停电 可以很容易地桥接数分钟。如果停电持续时间较长，通过使 用集成的安全轴承，转子将以非常低的速度安全停止。在系 统故障期间，安全轴承使转子减速，以避免对泵造成任何损 坏。

电动机与驱动器

能够提供旋转频率高达 1,500 Hz (90,000 rpm) 的无刷直流电 动机用于驱动转子。这使得叶片速度是泵送气体所必需的。
如今，驱动器通常都是直接连接到泵上。电源是 24、48 或 72 伏的直流电，通过外部电源包或集成在泵的电子单元中的 电源包产生电流。
  • 4_9_img_4_21_degrees_of_freedom_of_turbo_rotor

    图 4.21: 涡轮转子的自由度

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4.9.1.1 涡轮分子泵工作原理

包括转子和定子叶片排列的泵送作用是基于将动量从快速旋 转的叶片传输给被泵送的气体分子。与叶片碰撞的分子被吸 附在叶片上，然后在一段时间后再次离开叶片。在该过程 中，叶片速度被加到分子热运动速度上。为确保由叶片传输 的速度成分不因与其他分子碰撞而损失，分子流必须在泵中 占主导地位，即:平均自由程必须大于叶片间距。
  • 4_9_img_4_22_operating_principle_turbomolecular_pump

    图 4.22: 涡轮分子泵的工作原理

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在动量泵的情况下，在泵送气体时出现反压力;这导致回 流。抽速以 S0S0 表示。体积流量随压力增加而减少，并在最大 压缩比 K0K0 时达到0值。

压缩比

以 K0K0 表示的压缩比可根据 Gaede 公式进行估计 [25]。 以下 适用于外观密实的叶片结构(图4.22):
  • K_0=\mbox{exp}\left(\frac{1}{g}\cdot\frac{1}{\mbox{sin}\alpha}\cdot\frac{v}{\bar{c}}\right)

    公式 4-8: 涡轮分子泵的压缩比

\bar{c} 平均分子速度[m·s-1]
v 圆周速度[m·s-1]

几何关系取自图4.22。系数g在1和3之间 [26]。从方程中 明显可以看出,KO随叶片速度 v以及 以指数方式增加, 因为
  • \bar{c}=\sqrt{\frac{8\cdot R\cdot T}{\pi\cdot M}}

因此,例如,氮的压缩比明显高于氢的压缩比。

体积流量(抽速)

抽速 S0与入口面积 A 和叶片的平均圆周速度 v, （即转速） 成正比。考虑到叶片角度 α，结果：
  • S_0=\frac12\cdot A\cdot v\cdot\mbox{sin}\alpha\cdot\mbox{cos}\alpha=\frac14\cdot A\cdot v\cdot\mbox{sin}2\alpha

    公式 4-9: 涡轮分子泵的抽速

考虑到法兰入口流导
  • C_{Ef}=\frac{\bar{c}}{4}\cdot A

以及最佳叶片角度为45°,根据以下公式,得出重气体
(分子重量>20)涡轮分子泵近似有效抽速 Sef:
  • S_{eff}=\frac{S_0\cdot L_{Ef}}{S_0+L_{Ef}}=\frac{A\cdot v}{4\cdot\left(\frac{v}{\bar{c}}+1\right)}

    公式 4-10: 涡轮分子泵的有效抽速

用有效抽速除以最上层圆盘有叶片的入口表面积并考虑叶片 厚度堵塞的面积与系数 df≈df≈ 0.9，得出使用氮的涡轮分子泵的 具体抽速，例如(图 4.23中的曲线)：
  • S_{A}=\frac{S_{eff}}{A}=\frac{d_{f}\cdot v}{4\cdot\left(\frac{v}{\bar{c}}+1\right)}

    公式 4-11: 具体抽速

在 图4.23 中，Y 轴上绘制的是单位面积抽速，以 l · s-1 · cm-2 为单位，X 轴上绘制的是平均叶片速度 v=π⋅f⋅(Ra+Ri)。 从该点垂直向上移动，与曲线交叉点显 示的是泵的最大单位面积抽速 SA。 用该值乘以入口盘有叶片 的表面积: A=(R2a−R2i)⋅π，求出泵的抽速，并把它与目录信息进行比较。
  • 4_9_img_4_23_specific_turbopump_pumping_speeds

    图 4.23: 特定涡轮分子泵的抽速

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图 4.23 中所绘制的点是普发真空在所示泵测量值的基础上确 定的。远远高于绘制曲线的点实际上是不可能的。
因而所确定的抽速仍然没有说明有关轻型气体的值，如氢。 如果涡轮分子泵专为低极限压力而设计， 则使用具有各种叶 片角度的泵级组合对氢具有最大抽速。这将使泵产生针对氢 (约 1,000) 和氮产生足够的压缩比， 由于氮在空气中高分 压，它应该为109。 在纯粹涡轮分子泵的情况下，由于其分 子流，需要的前级真空压力大约为 10-2 mbar。
  • 4_9_img_4_24_pumping_speed_as_function_of_relative_molecular_mass

    图 4.24: 相对分子质量的抽速

  • 4_9_img_4_25_pumping_speed_as_function_of_inlet_pressure

    图 4.25: 入口压力的抽速

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4.9.1.2 Holweck 级工作原理

Holweck 级(图 4.26)是多级 Gaede 类型的分子泵， 具有 螺旋形泵通道。由于转子的旋转，进入泵通道的气体分子接 收到通道方向的牵引速度。回流损失的出现是因为挡板之间 的间隙，该挡板将 Holweck 通道彼此隔离并将其与转子隔 离。 间隙的宽度必须保持较小，以减少回流。绕定子 (2) 中 螺旋形通道旋转的圆柱形套筒 (1) 用作 Holweck 级。 将定子 安排在转子的内外使得两个 Holweck 级很容易集成在同一泵 内。这意味着，被抽出的气体通过定子通道被输送到转子的 外部， 然后通过另外的定子通道被输送到转子的内部，直到 它们通过收集通道被输送到前级泵。一些现代涡轮分子泵具 有几个这样的“折返”Holweck 级。
  • 4_9_img_4_26_operating_principle_of_holweck_stage

    图 4.26: Holweck 级的工作原理

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Holweck 级的抽速 S0等于：
  • S_0=\frac12\cdot b\cdot h\cdot v\cdot\mbox{cos}\alpha

    公式 4-12: Holweck 级的抽速

其中， b⋅h 是通道横截面， v⋅cos α是通道方向的速度分量。

压缩比因通道长度 L和速度 v⋅cos α 以指数方式增长 [4]:
  • K_0 = \frac{p_V}{p_A} = \exp\left( \frac{u \cdot L}{\bar{c} \cdot g \cdot h} \right)

    公式 4-13: Holweck 级压缩比

使用该公式计算得到的值在实际 Holweck 级中无法实现， 因 为从相邻通道经过挡板的回流急剧降低了压缩比， 而且这种 影响没有考虑在公式 4-13 内
为使极限压力在 0.5 和 5 hPa 之间以隔膜泵为前级建立涡轮 分子泵系统，涡轮分子泵目前配备了 Holweck 级。这些类型 的泵被称为涡轮拖动泵。由于涡轮分子泵的高压缩比而只需 低抽速就能获得低的本底压力，排气通道，特别是通道高度 以及转子之间的间隙可以保持得极小，从而仍然在 1 hPa 范 围内提供分子流。同时，这使氮的压缩比增加了所需的 103数量级。从图4.27中可以看出， 压缩比曲线向较高压力移动 了大约 10 的二次幂。
  • 4_9_img_4_27_compression_ratios_pure_turbopumps_turbo_drag_pumps

    图 4.27: 纯涡轮分子泵和涡轮牵引泵的压缩比

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对于专为大气体流量而设计的涡轮分子泵，提供了折中方 案， 其中涉及到气体抽气量、前真空兼容性以及颗粒耐受 性，且 Holweck 级中间隙距离增大了。

4.9.1.3 涡轮分子泵性能数据

气体负荷

  • q_{pV}=S\cdot p=\frac{dV}{dt}\cdot p

    (公式 1-16)

在恒定体积流量范围内与压力成正比增长。在抽速曲线的下 降段中，最大抽出的气体负荷可继续上涨，但他们取决于前 级泵大小。最大允许的气体负荷也取决于泵的温度(冷却和/ 或加热的泵)和所涉及的气体类型。抽出惰性气体是有疑问 的，因为它们在撞击转子时产生大量的耗散能量，且由于其 低比热，只有很少的热量可耗散给壳体。

制造商对转子温度的测量能够对气体类型有关的工艺提出建 议，以便安全操作涡轮分子泵。涡轮分子泵的技术数据规定 了氢、氦、氮、氩和 CF4 在公称 rpms 下最大允许的气体负荷。转速降低允许更高的气体吞吐量。

抽速 > 1,000 l · s-1 的 HiPace 系列泵配备了转子温度监控装 置，防止其自身过热。

临界前级压力

临界前级压力是指涡轮分子泵前级真空侧的最大压力， 在该 压力下，泵的压缩比减少。通过在进气侧无进气的情况下增 加前级压力，根据 ISO 21360-1:2012 测定压缩比，作为压
缩比测定的一部分来确定该值。在涡轮分子泵的技术数据 中， 最大临界前级压力始终是针对氮来规定的。

本底压力、极限压力、残余气体

对于真空泵，极限压力和本底压力是有区别的(也见第4.1.3 节)。 虽然泵必须在测量指南中规定的条件下在规定时间内 达到本底压力 pb，但是极限压力 pe 可大幅降低。在 HV 范围 内， 使用金属密封件在清洁条件下烘烤 48 小时后达到本底压 力。 对具有铝壳体泵的底压的规定是实现压力无需烘烤，且 使用清洁的 FKM 密封件。

腐蚀性气体版本的泵具有较高的解吸率，由于转子表面的涂 层，这可暂时导致较高的本底压力。

用前级压力除以压缩比得出极限压力。
  • p_{e}=\frac{p_{v}}{K_0}

    公式 4-14: 极限压力

是否达到极限压力将取决于设备和泵的大小与清洁度以及烘 烤条件。在极端烘烤(超过 300 °C)后，在残余气体中将只 发现 H2, CO and CO22。 这些是溶解在测试罩金属中并连续逸 出的气体。清洁、 烘烤设备的典型残余气体光谱如图 4.28 所 示。
  • 4_9_img_4_28_typical_uhv_residual_gas_spectrum

    图 4.28: 典型的 UHV 残余气体光谱(涡轮分子泵)

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在使用前级泵时，气镇应定期打开，以防止氢在前真空区域 积聚。在很多情况下，实际极限压力由涡轮分子泵高真空侧 解吸条件及其抽速决定的，而不是泵的压缩比.

4.9.2 应用

涡轮分子泵适合于在 10-3 至 10-10 hPa 的范围内产生清洁真 空。得益于其高压缩比，它们使油封泵入口区域的油远离被 抽容器。具有不锈钢外壳和 CF 法兰的型号可烘烤。这使得 这些泵非常适合于要求实现超高真空的研发应用

涡轮分子泵可用于排空使用旋片泵作为前级泵的大型容器。 如果是涡轮拖动泵，两极隔膜泵就可以作为前级泵;然而， 由于其低抽速，它们将花费很长时间来抽空较大的容器。 该 泵组合的气体流量也将受到隔膜泵的极大限制。但是， 该组 是干式泵极具成本效益的解决方案。它通常用于差动排气质 谱仪及其他分析或研发应用。如果前级泵区域需要较高的抽 速， 我们建议使用 ACP 系列的多级罗茨泵，或者对于半导体 或太阳能行业的化学真空工艺，建议使用具有过程能力的前 级泵。

包括一个前级泵和一个涡轮分子泵的机组无需阀门。这两种 泵同时打开。只要前级泵已经达到必要的前级真空，涡轮分 子泵就很快加速到额定速度，并凭借其高抽速快速排空容 器，使压力 pp < 10-4 hPa。短时间的停电可通过转子的高转 速进行弥补。在停电时间较长的情况下，如果转速下降到最 低速度以下，泵体和容器可自动排气。

在排空容器中发挥作用的影响在第 2 章中进行了描述。泵大 小以及抽空时间的计算也在该章进行了描述。

排空预抽室

当在真空工艺中传送要处理的工件时，排空预抽室绝对需要 清洁搬运。如果这些工件从大气压条件下进入，该腔室必须 通过旁路管道进行预排空。运行的涡轮分子泵然后通过阀连 接前级泵和腔室。


分析应用

如今在很多情况下，将质谱仪用在分析仪中。液体通常在真 空系统的进气室被注入并蒸发。在几个阶段中，压力下降， 各个腔室通过孔彼此隔离。由于每个腔室必须被抽空，通过 前级泵与涡轮分子泵的巧妙组合，经涡轮分子泵上的分流结 构进行气体流量的分配。特别修改的、带有分流结构的涡轮 分子泵用于一系列应用。除第 4.9.3 节中描述的 SpitFlow 50 之外，可以提供客户特定的解决方案。

氦气检漏仪也配备了涡轮分子泵。在这种情况下，经常使用 逆流原理（ 见第 7.2.1 节）； 即:质谱仪位于泵的高真空侧。 由于涡轮分子泵对氦压缩比低于氮或氧， 该泵担当氦选择性 过滤器的作用。


在真空工艺中具有高气体负荷的泵

涡轮分子泵在抽吸真空工艺的高气体负荷时，提供两大优 势。 它在每个工艺步骤开始时产生清洁真空，然后可以在无 任何有害回流的情况下抽空工艺气体。在第二个步骤中， 其 主要目的是保持真空过程应该运行所需的一定压力。 在该过 程中，气体流量和工作压力将由所涉及的应用来决定; 即: 将在一定的气体流量下抽吸一定的体积流量。而且， 在改变 工件时应该可以快速实现清洁中间真空。由于这些是相互矛 盾的要求，必须选择适用于所需气体流量、有足够尺寸的涡 轮分子泵和所需的中间真空。将通过入口阀(如蝶阀)来调 节过程压力。如何选择这种类型泵的例子如第 2 章所示。 技 术数据中规定的最大允许气体负荷应理解为允许的连续负 荷。这适用于根据规格保证足够冷却以及因此前级压力被调 节到最大临界前级压力以下。


抽吸腐蚀性和磨蚀性物质

在抽吸腐蚀性气体时，必须采取措施保护电机/轴承区域和转 子， 特别是防止它们受到腐蚀。要实现这一点，与腐蚀性气 体接触的所有表面要么有涂层，要么由能够经受这些气体侵 蚀的材料制成。允许规定的惰性气体流通过特殊的密封气体 阀进入前级真空的电机/轴承区域。气体从这里流经迷宫密封 进入前级真空区域，与腐蚀性气体混合，并通过前级泵与腐 蚀性气体一起被抽出。如果泵具有钟形转子(如 ATH M 系 列)， Holweck 级内的密封气体也可充当对流冷却气体，并 通过降低温度增加可使用的时间。即使在非腐蚀性但含尘的 过程中，密封气体也能有效地保护轴承和电机区域。

涡轮转子叶片应该会积累灰尘;这可能需要维修和更换转 子。 还应注意，预计沉积物可以在泵内形成，这将缩短维修 间隔。 尤其是，必须确保泵内的沉积物不与带水分的腐蚀性 物质发生反应。 因此，应该只用干燥惰性气体对泵进行排 气，而且在需要维修时， 泵应该装有密封的前级真空和高真 空法兰。 适用于这些应用的涡轮分子泵要么是无 Holweck 级 的经典涡轮分子泵，要么是有 Holweck 级的涡轮分子泵， 后 者将是临界前级压力和粒子耐受性之间的一个折中方案。 通 过增大 Holweck 级中转子与定子之间的间隙，可减少 Hol- weck 级中灰尘沉积导致的转子堵塞。例如，在 ATH M 系列 涡轮分子泵中，在具有粒子含量的溅射应用中经过长期操作 后，在靠近前级真空法兰的收集槽中主要发现的是非粘附灰 尘。 Holweck 级仍然是清洁的，且泵保持运行。

4.9.3 产品概览

作为涡轮分子泵的领先制造商，普发真空在其产品组合中提 供机械轴承和主动磁悬浮轴承。用户将在我们的产品组合中 发现专为高气体流量或低极限压力而设计的型号以及具有最 小振动或附加分流 (SplitFlow) 的泵。

4.9.3.1 机械轴承涡轮分子泵

如果 HiPace® 涡轮分子泵在前级真空侧具有油润滑球轴承， 在高真空侧具有永磁体轴承，则以下涡轮分子泵系列之间是 有区别的：
  • 带 ISO-K 法兰的 HiPace®:HiPace 涡轮拖动泵， 具有Holweck 级，用于产生标准应用的高真空
  • 带 CF 法兰的 HiPace®:HiPace 涡轮拖动泵， 具有Holweck 级，用于产生超高真空
  • HiPace® Plus:带有 Holweck 级的 HiPace 涡轮拖动泵， 具有减少的杂散磁场和超低振动水平
  • HiPace® P:经典的涡轮分子泵，适用于含尘的应用
  • 4_9_img_4_29_standard_hipace_turbopumps

    图 4.29: 标准 HiPace 涡轮分子泵

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表表 4.21 包含具有混合轴承的标准泵的特性。所有其他系列都 是在这些标准型号上进行的改进，基本上具有相同的特点。
  • HiPace 涡轮分子泵
    型号
    抽速
    压缩比
    气体吞吐量*
    应用
    HiPace 10
    11.5 l · s-1
    3.0 · 107
    0.37 hPa · l · s-1
    分析应用、泄漏探测器、 气体流量控制系统、 白炽灯和荧光灯制造
    SplitFlow 50
    53 l · s-1
    >1.0 · 108
    1.8 hPa · l · s-1
    HiPace 60 P
    64 l · s-1
    >1.0 · 106
    9.2 hPa · l · s-1
    HiPace 80
    67 l · s-1
    >1.0 · 1011
    1.3 hPa · l · s-1
    分析应用、研究和 开发、 真空镀膜、半导体制造
    HiPace 300
    260 l · s-1
    >1.0 · 1011
    5.0 hPa · l · s-1
    HiPace 400
    355 l · s-1
    >1.0 · 1011
    6.5 hPa · l · s-1
    HiPace 700
    685 l · s-1
    >1.0 · 1011
    6.5 hPa · l · s-1
    HiPace 800
    790 l · s-1
    >1.0 · 1011
    6.5 hPa · l · s-1
    HiPace 1200
    1,250 l · s-1
    >1.0 · 108
    20 hPa · l · s-1
    玻璃镀膜、太阳能电池的制造、 表面处理、CVD、PVD/溅射、 离子注入、等离子体物理、 空间模拟
    HiPace 1500
    1,450 l · s-1
    >1.0 · 108
    20 hPa · l · s-1
    HiPace 1800
    1,450 l · s-1
    >1.0 · 108
    20 hPa · l · s-1
    HiPace 2300
    1,900 l · s-1
    >1.0 · 108
    20 hPa · l · s-1

    *) 气体流量取决于驱动器。 表 4.21: HiPace® 针对氮选定的性能数据

带 ISO-K 法兰的标准泵的本底压力是： pb < 1 · 10-7 hPa。在烘 在烘烤后，带 CF 法兰的泵实现本底压力 pb < 5 · 10-10 hPa。

4.9.3.2 主动磁悬浮涡轮分子泵

表 4.22 包含带有 5 轴主动磁悬浮轴承的涡轮分子泵的特性
这些泵可用作：
  • 带 ISO-K 或 ISO-F 法兰的 HiPace® M:HiPace® 涡轮拖 动泵，具有 Holweck 级，用于产生标准应用的高真空
  • 带 CF 法兰的 HiPace® M:HiPace® 涡轮拖动泵，具有 Holweck 级，用于产生超高真空
  • ATP M:无 Holweck 级的经典涡轮分子泵，具有轻气体的 高压缩比，粒子耐受性高
  • ATH M 和 MT:有 Holweck 级的涡轮拖动泵，带密封气 体系统和加热，适用于腐蚀性气体应用
  • 4_9_img_4_30_ath_m_magnetic_levitation_turbopump

    图 4.30: ATH M 磁悬浮涡轮分子泵

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  • 磁悬浮涡轮分子泵
    型号
    抽速
    压缩比
    气体吞吐量*
    应用
    HiPace 300 M
    255 l · s-1
    > 1 · 1011
    28 hPa · l · s-1
    分析、真空镀膜、研发
    ATH 500 M / MT
    520 l · s-1
    > 2 · 107
    67 hPa · l · s-1
    半导体、真空镀膜、研发
    HiPace 700 M
    685 l · s-1
    > 1 · 1011
    13 hPa · l · s-1
    分析、真空镀膜、研发
    HiPace 800 M
    790 l · s-1
    > 1 · 1011
    13 hPa · l · s-1
    ATH 1603 M
    1,370 l · s-1
    > 6 · 108
    67 hPa · l · s-1
    半导体、真空镀膜、研发:玻璃镀膜、太阳能电 池的制造、表面处理、CVD、PVD/溅射、离子 注入、等离子体物理
    ATH 1600 MT
    1,370 l · s-1
    > 5 · 108
    67 hPa · l · s-1
    ATH 2303 M
    1,950 l · s-1
    > 1 · 108
    67 hPa · l · s-1
    ATH 2300 MT
    1,950 l · s-1
    > 1 · 108
    67 hPa · l · s-1
    ATP 2300 M
    1,850 l · s-1
    > 1 · 108
    37 hPa · l · s-1
    ATH 2800 M
    2,150 l · s-1
    > 1 · 108
    84 hPa · l · s-1
    ATH 2800 MT
    2,150 l · s-1
    > 1 · 108
    84 hPa · l · s-1
    ATH 3200 M
    2,700 l · s-1
    > 1 · 108
    84 hPa · l · s-1
    ATH 3200 MT
    2,700 l · s-1
    > 1 · 108
    84 hPa · l · s-1

    *) 气体流量取决于驱动器。表 4.22: 磁轴承涡轮分子泵针对氮的性能数据

4.9.3.3 驱动器与配件

提供各种控制器、显示器和驱动器以及广泛的配件用于在不 同应用中的涡轮分子泵。下面所使用的编号是基于图 4.31。

涡轮分子泵 (1a) 通常配有一个连接的驱动器 (1b)。例如， 直 流电源来自带显示控制单元 (2b) 的插入式电源模块 (2a)。也 可提供内置电源单元。USB 变流器 (5b) 也可用于将 PC (5a) 连接至 RS-485 接口， 以执行编程和切换功能或传输状态显 示。Profibus DP 和 DeviceNet 变流器允许泵连接至系统控 制器。 使用外部信号通过遥控器插件也可执行主要的切换功 能。 此外，一些状态显示可从继电器输出。

除了操作装置，各种配件也可用于特殊应用。

一些 DCU 电源单元能够连接真空表，以显示压力以及涡轮分 子泵上的信息

在前级泵继电器箱 (6) 的辅助下，DCU 电源 (2a) 可以转换为 系统控制器，该控制器可同时开启涡轮分子泵 (1a) 和前级 泵

对于高气体负荷，可连接风扇 (4) 或水冷 (3) 来冷却泵。
  • 4_9_img_4_31_example_of_turbopump_accessories

    图 4.31: 涡轮分子泵配件的例子(适用于 HiPace 300)

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如果 RPM 下降到给定速度以下，电动排气阀 (8) 则对涡轮分 子泵进行排气。在短时间停电的情况下，排气阀将保持关 闭， 以维持真空。然后，在电源电压恢复时，泵将立即重 启。 但是，这需要一个带有安全阀的前级泵，该泵将在停电 时自动关闭。

对于 UHV 应用，加热器 (9) 可连接到泵上，在达到预选转速 后， 该加热器自动开启，在转速减少时自动关闭。

具有匹配流量的电磁密封气体阀 (7b) 以及各种尺寸的泵密封 气体节流阀 (7a) 可用于腐蚀性气体泵。