- 无颗粒污染
- 性能出色
- 可靠
- 高效
ACP
多级罗茨泵
我们的 ACP 多级罗茨泵以卓越的运行可靠性、洁净度和坚固耐用闻名。
采用非接触式运行设计,结合多级压缩技术,实现无油、无颗粒污染的真空环境。集成风冷系统保障性能稳定与持久耐用。
ACP 系列提供多种型号可供选择,适用于半导体制造、真空包装、医疗与制药、研发和分析等行业中需要洁净、干燥真空环境的应用。
ACP 系列
ACP 系列的优势
ACP 系列专为高抽速、精确控制和稳定真空产生的高要求应用而设计。
ACP 真空泵的转子和定子采用精密校准间隙,实现非接触式运行,无需润滑, 从而产生无油、无颗粒污染的真空环境。ACP 系列拥有 20,000 至 22,000 小时或最长四年的超长维护周期,维护需求很低。
我们的 ACP 真空泵配备了变频驱动电机,提供单相和三相两种版本,确保全球范围内都能提供稳定的抽速和一致的极限压力。电机配备运行计时器,可以精确记录真空泵的运行时长。这便于及时维护以避免意外停机。远程操作模式支持通过 RS-485 串行接口,由连接的计算机对关键运行参数进行全面控制和监控。主要功能包括真空泵的启停、速度控制和紧急停止。
ACP 系列配备了风冷系统,并提供多种气体接口选项。该系列包含多个针对特定应用优化的版本:
标准 SD 版本适用于处理半导体等离子清洗等洁净气体。G 版本针对腐蚀性气体优化,特别适合蚀刻工艺。CV 版本专为可冷凝蒸汽设计,是制药行业干燥应用的理想选择。在特种气体处理领域,CP、SH 和 SR 版本分别针对氦气回收、粒子加速器和辐射环境而设计。
其中,ACP 120 作为特殊型号, 采用水冷设计并集成氮气气镇阀系统。这种设计显著提升了对腐蚀性和可冷凝气体的防护能力,使 ACP 120 特别适用于玻璃镀膜和 LED/OLED 照明等应用。
本系列产品完全符合 CE 认证,并通过了 UL/CSA 和 SEMI S2 认证,满足《限制危险材料指令》(2011/65/EU)、《电气安全标准 IEC 60204-1》及《机械指令》(2006/42/EG)等国际安全与性能标准。