A 100/200 L

A 100 L 和 A 200 L 是我们的紧凑型可堆叠多级罗茨真空泵，专为无缝安装于半导体晶圆厂底板系统量身打造。与同类标准真空泵相比，它们凭借出色的性能和能效，可在快速抽真空循环过程中迅速、高效地处理大量气体，大幅提升生产效率，同时显著降低运营成本。这使其成为高流量应用的理想解决方案，尤其适用于半导体制造工艺。

A 100 L 真空泵的抽真空时间极短，还配备可选接口，便于对设备进行控制与监测。其节能版能够降低压缩腔室内的压力，进而将设备运行时的振动幅度、噪声水平以及功率消耗降低多达 50%。

对于需要更强大的解决方案和更短的抽真空时间的应用，A 200 L 可提供更高的抽速，同时进一步降低功率消耗。两款机型采用统一的尺寸规格与接口标准，用户无需改造系统即可直接实现对 A 100 L 的升级替换。A 200 L 可选配升级版 EtherCAT 通讯协议，可与半导体制造设备等先进工艺装置进行顺畅通信。