ASM HVM
检漏仪
快速测试
搭载性能强劲的干式真空泵技术，检测可靠、快速且灵敏度出众，有效提升泄漏检测效率
低噪音
得益于集成的 HiScroll 干式涡旋真空泵，运行噪音极低，为您营造舒适安静的工作环境
用户友好型设计
配备大型可旋转彩色触摸显示屏，操作直观便捷，自带内置工具箱，确保常用配件触手可及
技术规格
市场和应用
碳捕获
-
变压吸附
化学品
-
泄漏检测
显示器
-
Load lock 腔体
-
等离子体增强化学气相沉积 (PECVD)
-
物理气相沉积（PVD）
制药与生物技术
-
泄漏检测
研发
-
泄漏检测
太阳能
-
电池制造
-
硅锭拉拔
-
层压
薄膜镀层
-
光学涂层
-
装饰涂层
-
实验室涂层
-
玻璃涂层
-
耐磨损涂层
配件
- 5 米 / 10 米软管长度吸枪探头
- 氦气喷枪
- 远程控制
- 瓶架
- 滤尘器