7.4 产品概览
质谱仪和气体分析仪产品如第 6 章所述。普发真空拥有最广泛的氦气检漏仪。如表 7.4 所示
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石英视窗传感器扇形场 MS真空方法吸枪方法集成的测试漏便携式ASM 310多用途ASM 340高性能ASM 390ASM 392模块化ASI 35嗅闻ASM 306 S
广泛的产品组合允许针对所选择的特定应用而专门设计的装 置。最重要的特点是：
- ASM 310: 使用全面集成泵系统，用于真空和吸枪测试的 最小和最轻检漏仪。由于质谱检漏仪而实现的优异检测灵 敏度。
- ASM 340: 整合我们所有生产基地综合经验的最新普发真 空检漏仪。 强大的泵系统和与 ASM、HLT 系列检漏仪向 下兼容性使其成为最全面的检漏仪。
- ASM 390/392: 专为半导体行业和涂层系统开发的。 超薄的设 计使其在生产机械之间狭窄的过道中可以移动和操作。 即 使与辅助泵一起使用，高氦气抽速仍能保证其无与伦比的 灵敏度， 无油和无颗粒前级泵使其适用于洁净室的使用。