7.3 应用说明

在使用氦气开始进行泄漏检测过程之前，用户必须明确以下 几个基本问题：


在回答这些问题的基础上，才能从第 7.2.4 和 7.2.5 节所示的 方法中选择适当的测试方法。

7.3.1使用氦气进行的泄漏检测

在进行局部泄漏检测或整体泄漏测试之前，必须对泄漏探测 器进行校准。 集成在普发真空泄漏探测器中的氦气泄漏孔正 是用来对其进行校准的。 校准程序在泄漏探测器启动时开始 或自动开始，并根据固定软件协议运行。 校准 后，泄漏探测 器就可以使用了。

用户不断了解装置的状态并通过视觉显示和声音信号对泄漏 率进行测量。凭借声音信号，信号音频频率随泄漏率的变化 而上升。用户可以通过编程阈值确定发出声音信号的时间。 视觉信号可以在有关装置控制面板上读取或在有线或无线遥 控装置上读取。这使得泄漏检测可以仅由一人执行。

在使用氦气作为测试气体时，必须始终遵守以下要求：


因此，对于大型检测试样，必须经常使用具有高抽速的附加 真空泵(辅助泵)。在这种情况下，泄漏探测器应该直接连 接至大型真空泵泵口，即与辅助泵并联。

当辅助泵运行时，必须使用标准漏孔通过测量限定系统的部 分流量比，以确定泄漏率。只有通过测量，才可能可靠地指 出辅助泵抽空的逸出测试气体比例以及在泄漏探测器中可以 检测到的比例。

当使用吸枪探头工作时，容器中的压力必须至少高于环境压 力 100 hPa。由于空气中有自然氦含量，吸枪方法的灵敏度 低于真空方法的灵敏度。而且，泄漏探测器对流入氦气的延 迟反应也必须予以考虑。响应时间也取决于所用吸枪探头的 长度。

使用氦气或其它测试气体的泄漏测试不一定必须使用标准的 特性参数来进行。转换是可能的，例如，对于各种气体、气 体与液体、不同压力条件、质量泄漏率和体积泄漏率之间的 转换等。

7.3.2 使用检漏仪与使用四级杆质谱仪的测试结果比较

四级杆质谱仪主要用于分析混合气体的组成。它们需要高真 空范围内的测试压力。质谱仪几乎可以与任何示踪气体一起 使用，因为它们的使用并不依赖于经典的示踪气体氦气。残 余气体分析仪无需任何特殊的测试气体就可以检测真空系统 中的泄漏。它们分析空气中气体的质量。

用于示踪气体氦气的检漏仪目前没有在四级杆质谱仪的基础 上设计的。 它们具有更大的工作可靠性和长期稳定性以及结 果和数据解读更容易量化， 这些特性导致:在扇形磁场质谱 仪基础上的上述所有质谱检漏仪主要用于此目的。

具有基于石英视窗传感器的检漏仪也用于不需要高灵敏度质 谱检漏仪的应用。具有石英视窗传感器的装置使在非常高的 测试压力和高水蒸气接触下工作成为可能。