Vacuum gauge selection guide
根据测量原理，范围限制处的读数可能不是很准确。-
表 5.2: 真空计选择指南
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5.3.1 DigiLine系列
DigiLine 范围中的主动式真空计通过串行 RS-485 或现场总 线接口提供其压力信号。它们配有 24 VDC。不同应用选项 如 图 5.9 所述。使用 DPG 202 电源单元最多可操作两个真空计及显示其压力 值。DPG 202 具有连接 PC 的 USB 接口。DigiLine 真空计 的信号也可直接通过 PLC 或 PC 处理并通过 DokuStar Plus 软件显示。
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图 5.9: 应用概念 DigiLine
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DigiLine 真空计的可选版本提供 Profibus-DP 和 DeviceNet 现场总线标准接口。这使得这些真空计很容易集成到设备控 制系统的现场总线网络中，通过使用较少的布线和电缆以及 快速初始启动，使其具有所有已知的节约成本优势.
另一个选择是具有额外模拟输出和切换点的 DigiLine 真空 计。模拟输出可用于诸如设置变送器的本底压力显示之类的 任务，该变送器链接至中央控制系统。切换点允许提供硬连 线的安全功能。
主动式 DigiLine 真空计具有以下优势：
- 从 5 · 10-10 至 2,000 hPa 的压力范围涵盖整个真空范围
- 可自由组合部件
- 得益于数字信号的安全数据传输
- 压力值进行数值传输，所以无需任何曲线校正或转换
- Profibus-DP 和 DeviceNet 现场总线接口
- 数据可以直接在 PC 使用 DokuStar Plus 软件进行分析
- 便于调节的遥控
- 防护等级 IP54 和 DIN M12 连接器组件用于在恶劣环境中 可靠的运行
主动式 DigiLine 单传感器真空计可以压膜系统 CPT 200 (2,000 – 1 hPa) 和皮拉尼系统 PPT 200 (1,000-10-4 hPa) 的形式提供。
DigiLine 系列可提供以下具有组合传感器的真空计：
- 压电式皮拉尼组合 RPT 200。 由于用于压力 p >10 hPa 的皮拉尼真空计的导热系数影 响与压力无关，所以膜片真空计用于压力 p >10 hPa 的情况。这为整个测量范围从 1,200 至 1 · 10-4 hPa 提供了 良好的精度，使得该真空计能够精确控制过程，如腔室排 气。
- 皮拉尼冷阴极组合 MPT 200。 该组合涵盖压力范围从 1,000 至 5 · 10-9 hPa。冷阴极测量 传感器的气体放电由使用皮拉尼传感器测量的压力启动。 使用该方法防止冷阴极在过大压力下被意外激活，从而避 免污染。
- 皮拉尼/Bayard-Alpert 组合 HPT 200。 这涵盖压力范围从 1,000 至 5 · 10-10 hPa。由皮拉尼传感 器监控的压力防止热阴极真空计在过高温度下工作，并防 止热阴极烧坏。这能实现非常长的阴极使用寿命。
5.3.2 ActiveLine系列
ActiveLine 系列包括三种控制单元和八个主动式真空计，具 有 0 – 10 伏模拟输出。所有发射机都配备了相同的连接器组 件，因此可以在控制单元上使用相同的测量电缆进行操作。 测量电缆可提供 1 到 50 米的标准长度。主动式压电真空计 APR具有六个型号，涵盖从 5.5 MPa (55 bar) 至 10 Pa (0.1 mbar) 五个测量范围。
电容式膜片真空计 CMR 可提供温度补偿和温度调节两个版 本，每个都从 1100 hPa – 10-5 hPa 具有五个测量范围。使 用具有不同额定值（满量程 = F.S.）的膜片产生以下类别：
- 1,000 hPa F.S. 压力范围 1,100 至 10-1 hPa
- 100 hPa F.S. 压力范围 110 至 10-2 hPa
- 10 hPa F.S. 压力范围 11 至 10-3 hPa
- 1 hPa F.S. 压力范围 1.1 至 10-4 hPa
- 0.1 hPa F.S. 压力范围 0.11 至 10-5 hPa
来自普发真空这些陶瓷技术真空计在很多应用中具有可靠的 业绩记录，特别是在腐蚀性应用中。
对于在显微技术中的使用，其常用单位为 Torr 和 mTorr, 电容式膜片真空计 CCR 可以 Torr 提供额定值：
- 1,000 Torr F.S. 压力范围 1,332 至 10-1 hPa
- 100 Torr F.S. 压力范围 133 至 10-2 hPa
- 10 Torr F.S. 压力范围 13.3 至 10-3 hPa
- 1 Torr F.S. 压力范围 1.33 至 10-4 hPa
- 0.1 Torr F.S. 压力范围 0.13 至 10-5 hPa
CCR 系列具有 D-Sub 连接器组件，且其电源和输出电压可 与其他商业电容式变送器兼容。然而，由于这些特点，它们 不能使用 ActiveLine 控制单元进行操作。
具有两种主动式 皮拉尼真空计 TPR 用于 1,000 hPa 至 5 · 10-5 hPa 的中真空范围和三种主动式 冷阴极真空计 IKR 测量范围在 10-2 至 5 · 10-11 hPa 之间，这使得单传感器 ActiveLine 发射机的范围很完美。
TPR皮拉尼真空计也可以连接到 DCU 机组显示控制单元， 从而无需额外费用就提供压力读数。
主动式 热阴极真空计 IMR 265 传感器中的电极（阳极、阴 极、收集器）彼此之间的间隙设计的极小。因此，即使在压 力 p < 10-2 hPa 时，分子流仍占主导地位，从而可以测量那 里的离子电流。该变送器的另一个优势是，与 Bayard-Alpert 设计相比，对污染具有较低的敏感性，这使得它非常适合于 控制主要在较低中真空范围的真空工艺。
可提供以下具有组合传感器的主动式真空计：
- 电容式膜片皮拉尼组合真空计 PCR 280 用于压力范围 1,500 至 5 · 10-4 hPa；高效的皮拉尼传感器与膜片传感器 组合在粗真空范围内很准确
- 皮拉尼冷阴极组合真空计 PKR 251 和 261 用于压力范围 1,000 至 5 · 10-9 hPa；是稳健传感器的理想组合，适用于 范围广泛的真空应用
- 皮拉尼/Bayard-Alpert 组合真空计 PBR 260用于压力范 围 1,000 至 5 · 10-10 hPa；与皮拉尼传感器提供的热阴极 灯丝的安全性相结合，在高、超高真空范围内提供理想的 压力测量
ActiveLine 真空计具有以下优势：
涵盖整个真空范围
- 三种控制单元 TPG 261、TPG 262 和 TPG 256 A 用于 所有要求配置的一个、两个或六个测量仪
- 具有自动真空计识别的控制单元防止安装错误
- 可使用任何控制单元操作每一个真空计
- 通过为所有真空计使用相同标准的电缆而易于布线
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图 5.10: ActiveLine 应用概念
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5.3.3 ModulLine
ModulLine 系列包括三种被动式皮拉尼真空传感器 TPR 用于 压力范围 1,000 至 8 · 10-4 hPa 和三种 冷阴极真空传感器 IKR 用于压力范围 5 · 10-3 至 10-11 hPa。由于这些真空传感 器不包含任何电子设备，所以它们适合于在高辐射环境中使 用。可用的电缆选择范围较大，这使得控制单元可安装在远 离使用真空传感器的位置。具有以下特点的 TPG 300 可用作控制单元：
- 模块化设计，适用于各种测量板
- 可插入两个测量板以及带继电器输出的 RS-232/RS-485 接口板
- 可连接的真空传感器多达四个
- 可进行现场总线连接
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图 5.11: 用于 ModulLine 传感器的 TPG 300 控制单元
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