蒸汽
如果没有额外的措施,由于其相对较低的工作温度,使用无油 泵则有泵内发生冷凝的危险。与旋片式真空泵类似,多级罗茨 泵装有气镇阀,以增加泵的水蒸汽耐受性和抽出水蒸气的能 力。泵内形成冷凝物增加了极限压力,导致腐蚀,且最坏情况 下,将导致泵故障。
在无气镇的情况下,ACP 泵可输送水分含量高达 5% 的介 质。 使用标准的泵气镇,水蒸汽耐受性为 10 hPa 且抽水蒸气 的能力为 100 g · h
-1。在特殊泵版本(CV,可冷凝蒸汽)增 加气镇量, 可实现水蒸汽耐受性约为100 hPa,水蒸气的抽出 能力为 700 至 1,000 g · h
-1,这取决于环境温度。
至于旋片式真空泵:在排空蒸汽前,泵体必须用气镇预热至少 半个小时。较高温度的泵体减少冷凝。减少冷凝的其他方法包 括获得尽可能低的出口压力及单独排出冷凝物。必须使用垂直 排气管道防止出口处的背压。如有有萃取系统,应将出口与其 连接。
灰尘和粒子
如果没有对大粒子物质的进入进行控制,在最坏情况 下,ACP 系列多级罗茨泵可堵塞并彻底损坏。为此,在含尘 工艺或如玻璃制造中, 在进气侧安装过滤器以防止造成破坏
腐蚀性气体
ACP 系列泵不适合于抽空大量的腐蚀性气体。在这方面多级 罗茨泵可用于半导体、太阳能和涂层行业中的腐蚀性气体工 艺
(见第 4.6 节)。 然而,ACP 系列泵至少可用于处理少量 的腐蚀性气体。 在这种情况下,使用具有惰性气体净化的 泵,其中, 采用惰性气体保护轴承,且工艺气体通过在一个 泵腔中引入惰性气体进行稀释。
泄漏率
其高气密性能够保证多级罗茨泵 的长期使用以及昂贵气体的 循环使用 (
4He,
3He, 同位素标记气体) 成为最佳解决方 案。
轻气体和高真空
多级罗茨泵通过出口阀以防止蒸气和氧气扩散回到吸入室, 这在抽出腐蚀性气体应用中会导致泵内发生化学反应。如果 需要产生真空以防止轻气体聚集和回流扩散,在应用中,必 须定期将该阀打开(如通过气镇)。
即便排气处的粗真空或气镇的使用就足以抽出连续的氦气体 流量,如在蒸发器低温恒温器中,几乎与氮或空气具有相同 的功能。
在载气禁止使用的应用中(如在闭合环路应用中),泵出口 处必须有真空。