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新型 ATH 4506 M 涡轮分子泵。来源:Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions

Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions 推出新型 ATH 4506 M 涡轮分子真空泵

全球 Busch Group 旗下成员 Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions 现推出 ATH-M 系列中最大型号的 ATH 4506 涡轮分子真空泵,进一步丰富了其产品阵容。

这款新型涡轮分子真空泵对氮气的抽速达 4,500 l/s,适用于半导体制造、大面积涂层等工艺,以及对气体流量要求较高的应用,例如用于空间模拟的大型真空室的抽真空作业。

即插即用,配备集成控制器

ATH 4506 M 配备集成控制器, 无需额外配置独立的外部控制单元,既简化了安装流程,又节省了系统设置所需的空间。该真空泵仅需 9 分钟即可达到 23,500 转/分钟(rpm)的全速运行状态,确保生产过程快速启动。设备闲置时可以启用怠速模式,降低功耗,实现节能运行。

工艺适配型温度管理系统

不同工艺条件下所需的运行温度各不相同。因此,ATH 4506 M 提供两种版本:

  • 非加热版本,适用于无需额外加热的洁净、无腐蚀性环境,例如大面积涂层。
  • 配备温度管理系统(TMS)的版本,最高温度可达 90°C,适用于半导体制造及其他腐蚀性工艺,适度加热可有效防止冷凝和颗粒生成。

通过匹配工艺需求的真空泵温度控制,ATH 4506 能够最大限度地减少泵内冷凝与颗粒积聚,降低内部组件磨损,避免非计划停机, 从而提升设备可靠性与产品质量稳定性,帮助用户降低综合运营成本。

状态检测与数字化集成

ATH 4506 M 配备内部传感器,可检测温度、吹扫状态、转速以及轴外移动情况。通过实时监测数据,操作员可及时掌握真空泵运行状态,从而更易于在早期阶段发现异常情况。这有助于避免非计划停机,并支持预测性维护。该真空泵具备物联网(IoT)功能,因此可与数字监控系统相连,从而能够集成到自动化生产环境中。

该真空泵具备 IP54 防护等级,可有效防尘和防溅水, 提升其在苛刻工业环境中的适应性,并延长其使用寿命。